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中科科仪受邀参加第十届亚洲和澳大利亚真空与表面科学会议(VASSCAA-10)暨中国真空学会2021学术年会
2021-10-14

       第十届亚洲和澳大利亚真空与表面科学会议(VASSCAA-10)暨中国真空学会2021学术年会,于2021年10月11-14日在上海召开。VASSCAA是国际真空科学、技术和应用联盟 (IUVSTA)正式认可、在国际真空科学技术会议章程中规定设立的特别科学会议。中科科仪作为中国高端科学仪器设备和真空技术领导者,受邀参加本次年会。



       会上,中科科仪研究员李赏作《磁悬浮分子泵技术及应用》学术报告,系统介绍了磁悬浮分子泵的概况、最新技术成果、市场与应用及发展趋势。



       磁悬浮分子泵作为超高真空获得设备,是高端科学仪器和集成电路关键工艺装备的核心零部件。因可获得高洁净度的超高真空,并在宽压强范围内稳定持续排气能力,同时具备低振动、低功耗、易集成、免维护等特点,磁悬浮分子泵被广泛应用于工业镀膜、科研仪器、芯片制造和航空航天等领域。



       中科科仪磁悬浮分子泵在性能、可靠性和易用性等方面取得长足进步,已批量应用于高端镀膜行业,并在刻蚀、离子注入等半导体前道工艺设备上实现突破,助力国产高端科学仪器和集成电路制造关键工艺装备产业链自主可控能力提升。
       未来,中科科仪将继续秉承“创新科学仪器,发展一流企业”的使命,聚力核心技术攻关,全力突破“卡脖子”问题,为中国真空技术发展持续贡献力量。

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