真空系统

首页 > 产品中心 > 真空应用设备 > > 多工位真空储存柜 > 多工位真空储存柜

多工位真空储存柜

产品特点

  • 该设备采用各工位独立控制方式,可实现独立充放气、氮气清洗真空度自主设定等功能,广泛应用于电子器件、光电器件、半导体芯片等器件生产过程产品暂存,防止氧化。

应用领域

电子器件、光电器件、半导体等
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 抽真空模式,充入氮气量可设定,真空度可设定
    每个工位可独立控制,可单独抽气和放气。
  • 系统漏率
    <2×10E-3 Pa∙mE3/s
    极限真空度
    5×10E-5Pa
  • 工作真空度
    8×10E-3Pa
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

    相关案例