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展会快讯丨中科科仪亮相CITE 2022,全方位展示半导体行业系列检测方案

发布时间:2022-08-18 文章来源: 浏览量: 字号:

8月16-18日,第十届中国电子信息博览会暨2022深圳国际半导体技术装备与材料展览会(CITE 2022)在深圳会展中心(福田)隆重举办。作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者,中科科仪受邀出席,着重展示半导体行业系列检测方案。



本届展会由中华人民共和国工业和信息化部、深圳市人民政府、中国电子信息产业集团有限公司指导,中国电子器材有限公司、赛艾特会展(深圳)有限公司主办,以“创芯驱动、高质量发展”为主题,汇聚了半导体领域的专家学者、企业精英,针对中国半导体领域国产化的进展、最新趋势、重点问题和热点话题进行广泛探讨。


半导体检测是保证电子产品良率和成本管理的重要环节,随着半导体制造工艺要求的提升,检测环节在半导体制造过程中的地位不断提升。本次展会中科科仪重点展示了半导体行业系列检测方案:SEM(扫描电镜)+EDS(能谱仪)+EBIC(电子束感应电流)+HLD(氦质谱检漏仪)+HF(氟油平台)。此方案对半导体器件的失效分析、材料检测、线宽测量、污染物分析、可靠性检测具有重要意义,受到了与会嘉宾和观众的广泛关注和一致好评。


集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。近年来,中科科仪持续聚焦半导体产业发展需求,不断加大研发投入,坚持科创引领,推出场发射枪扫描电子显微镜、半导体磁悬浮分子泵等半导体行业关键装备和核心零部件,达到国际先进水平,助力中国半导体产业持续健康高质量发展。



未来,中科科仪将依托尖端科学仪器和真空技术领域深厚的历史积淀,积极抢抓粤港澳大湾区发展机遇,不断突破关键核心技术,为我国科技自立自强做出应有的贡献!


展会还在继续,欢迎您莅临中科科仪展位(1号馆-1D526)参观交流,与我们共同探讨半导体技术装备与材料发展新风向……

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