真空配套
APC插板阀
产品特点
- 智能调节，控制简便快捷。
- 质量稳定，抗干扰能力强。
- 配置丰富，人机接口友好。
- 一体设计，集成化程度高。
- 安全可靠，低压直流供电。
应用领域
表面工程、能源科技、平板显示、IC制造、工业过程等领域
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 接口法兰
- CF、ISO-F
- 适用真空度范围
- 1E5-1E6
- 阀体漏率（Pa·m3/s）
- ≤1.3E-10
- 开启压差
- <3000Pa
- 耐烘烤温度
- ≤150℃（控制器Controller≤50℃）
- 位置控制精度
- ±0.1%FS
- 薄膜规信号
- 0-10V DV
- 控制器电压
- DC 24V
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |