8月16-18日，第十届中国电子信息博览会暨2022深圳国际半导体技术装备与材料展览会（CITE 2022）在深圳会展中心（福田）隆重举办。作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者，中科科仪受邀出席，着重展示半导体行业系列检测方案。

本届展会由中华人民共和国工业和信息化部、深圳市人民政府、中国电子信息产业集团有限公司指导，中国电子器材有限公司、赛艾特会展（深圳）有限公司主办，以“创芯驱动、高质量发展”为主题，汇聚了半导体领域的专家学者、企业精英，针对中国半导体领域国产化的进展、最新趋势、重点问题和热点话题进行广泛探讨。

半导体检测是保证电子产品良率和成本管理的重要环节，随着半导体制造工艺要求的提升，检测环节在半导体制造过程中的地位不断提升。本次展会中科科仪重点展示了半导体行业系列检测方案：SEM（扫描电镜）+EDS（能谱仪）+EBIC（电子束感应电流）+HLD（氦质谱检漏仪）+HF（氟油平台）。此方案对半导体器件的失效分析、材料检测、线宽测量、污染物分析、可靠性检测具有重要意义，受到了与会嘉宾和观众的广泛关注和一致好评。

集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。近年来，中科科仪持续聚焦半导体产业发展需求，不断加大研发投入，坚持科创引领，推出场发射枪扫描电子显微镜、半导体磁悬浮分子泵等半导体行业关键装备和核心零部件，达到国际先进水平，助力中国半导体产业持续健康高质量发展。

未来，中科科仪将依托尖端科学仪器和真空技术领域深厚的历史积淀，积极抢抓粤港澳大湾区发展机遇，不断突破关键核心技术，为我国科技自立自强做出应有的贡献！

展会还在继续，欢迎您莅临中科科仪展位（1号馆-1D526）参观交流，与我们共同探讨半导体技术装备与材料发展新风向……